造粒燃燒合（hé）成氮化（huà）矽的生產方法

本（běn）發明主要適用於β－氮（dàn）化矽的燃燒合成。采用燃燒合成工藝或自蔓延高溫合成工藝製備氮化矽粉末。本發明（míng）的技術特點是（shì）把工業原料矽粉與氮化矽稀釋（shì）劑（jì）的混合料磨（mó）細至10μm以下，用2%～8%PVA水（shuǐ）溶液造粒，然後采用常規燃燒合成工藝（yì）合（hé）成氮化矽及（jí）破碎至亞微米級粉末（mò）。采用本發明工藝時，能使細粒矽粉得到充分（fèn）的氮化，並縮短（duǎn）了合成時（shí）間（jiān）40%～60％。合成後氮化矽中遊離矽低，同時也保證了高的氮氣滲（shèn）透率及合成工藝（yì）的穩（wěn）定性，提高了產品的合格率。